上海图双请求主动清洁异物的晶片盒载物台专利能完成晶圆传送盒的精细定位

  金融界2024年12月25日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海图双精细配备有限公司请求一项名为“一种主动清洁异物的晶片盒载物台”的专利，公开号CN 119170539 A，请求日期为2024年9月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种主动清洁异物的晶片盒载物台，触及半导体制作技术领域，包含机台；机台上可拆卸衔接有限位组织，多组限位组织与晶圆传送盒侧壁揉捏触摸使晶圆传送盒可拆卸固定在机台上，经过切换限位台与螺纹孔洞的衔接方位来调理限位台的方位，并调理限位台与晶圆传送盒揉捏触摸完成精细定位。